一种半导体制程缺陷的检测方法及系统

摘要

本发明公开了一种半导体制程缺陷的检测方法，所述半导体制程缺陷的检测方法包括：建立数据库，所述数据库中包括多种半导体制程缺陷的图片，并按照半导体制程缺陷的形貌特征，将所述半导体制程缺陷进行分类；扫描晶片，并通过识别所述半导体制程缺陷的形貌特征，在晶片上获得多个预选区域，通过半导体制程缺陷识别系统，提取所述预选区域中所述半导体制程缺陷的图片特征，并识别所述半导体制程缺陷的类型；根据所述半导体制程缺陷的类型，确定扫描机器的最佳扫描参数；根据最佳扫描参数，再次扫描晶片，并识别晶片上所述半导体制程缺陷的类型及位置。通过本发明提供的一种半导体制程缺陷的检测方法，可快速识别所述半导体制程缺陷的类型和位置。