公开/公告号CN112964456A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 上海天马微电子有限公司;
申请/专利号CN202110182964.2
发明设计人 顾跃凤;
申请日2021-02-08
分类号G01M11/02(20060101);G01N21/55(20140101);G01N21/01(20060101);
代理机构11603 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人于淼
地址 201201 上海市浦东新区汇庆路888、889号
入库时间 2023-06-19 11:26:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-11
授权
发明专利权授予
机译: 薄膜(DGT)探针试验装置的扩散梯度用于湖泊中的沉积物核心和使用相同的测试方法
机译: 用于安装电子零件的薄膜载带的外观测试方法和装置
机译: 用于选择校准标准以通过非接触技术测量晶片产品上的微薄膜金属涂层厚度的涡流测试方法和装置