首页> 中国专利> 用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法

用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法

摘要

本发明公开了一种用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法,属于光学技术领域,用于测试薄膜反射率的装置的支架组件包括支架底座和支架底座上的伸缩杆;伸缩杆远离支架底座的一端设有固定圈,载体棒通过套接于固定圈内与伸缩杆的一端固定连接,载体板固定设置于载体棒的一端;载体板上开设有多个通孔,载体板通过穿过通孔的固定夹固定待测薄膜;待测薄膜包括薄膜本体和基底,载体板的折射率与基底的折射率差值小于或等于0.05。薄膜反射率的测试方法使用上述用于测试薄膜反射率的装置进行薄膜反射率的测试工作。本发明能够尽可能消除基底背面的反射,使薄膜反射率的测试值更加贴近真实值,减小测试误差。

著录项

  • 公开/公告号CN112964456A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海天马微电子有限公司;

    申请/专利号CN202110182964.2

  • 发明设计人 顾跃凤;

    申请日2021-02-08

  • 分类号G01M11/02(20060101);G01N21/55(20140101);G01N21/01(20060101);

  • 代理机构11603 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人于淼

  • 地址 201201 上海市浦东新区汇庆路888、889号

  • 入库时间 2023-06-19 11:26:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-10-11

    授权

    发明专利权授予

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号