电阻仪探针位置的校正方法及方块电阻的测量方法

摘要

本发明提供一种电阻仪探针位置的校正方法及方块电阻的测量方法。其中，所述电阻仪探针位置的校正方法包括：获取一待测晶圆的缺陷图，根据缺陷图标定出待测晶圆上的多个标准测量位置，并获得各个标准测量位置的坐标值。采用电阻仪测量待测晶圆的方块电阻。再获取待测晶圆在方块电阻测量后的缺陷图，以获得各个实际测量位置的坐标值。比对各个标准测量位置与对应的实际测量位置之间的偏差，并根据获取的偏差校正所述电阻仪的探针位置。因此，本发明通过获取坐标的方式，实现探针位置偏差测量的可视化，且测量精度更高，便于精准调整所述电阻仪的位置，以实现提高获取的方块电阻的精确度。同时，本发明利用机台已有设备即可实现，成本低，操作简单。