東北大、Si結晶基板の品質と太陽電池特性を瞬時に判定する「電流変調四探針抵抗率測定法]を開発

摘要

東北大学は、太陽電池用Si結晶基板の新しい結晶品質評価方法として、[電流変調四探針抵抗率測定法」（特許出願済）馨開発した。一般的に、四探針抵抗率測定法は、Si結晶の抵抗率を測定ずるために用いられているが、今回開発した方法は、この一般的な装置を応用してSi結晶基板の品質を瞬時に評価するも乱この開発成果は、太陽電池用Si結晶基板の品質評価のみならず、太陽電池製造技術の優劣をも評価できる方法であり、シリコン太陽電池の低コスト化·高効率化につながる技術であるという。