一种碳化硅晶锭的初步筛选方法及装置

摘要

本发明提供了一种碳化硅晶锭的初步筛选方法及装置，该方法包括以下步骤：(1)对碳化硅晶锭的表面进行打磨或切割处理，得到透明或半透明的碳化硅晶锭；(2)利用紫外光源照射碳化硅晶锭，得到碳化硅晶锭的透光波长，比较所述透光波长与标准颜色波长范围的大小判断微管密度或包裹体密度是否合格，筛选获得微管密度或包裹体密度合格的碳化硅晶锭，进行下一步的操作；所述标准颜色波长是微管和包裹体密度均合格的标准碳化硅晶锭用同一紫外光源照射后具有的透光颜色波长的范围。通过对碳化硅晶锭打磨切割处理后，提高了可视化程度，且利用紫外照射，筛选获得微管密度或包裹体密度合格的碳化硅晶锭，提高了初筛的准确性，降低了后续加工和检测的工作强度。