一种超微型MEMS节流制冷红外探测器

摘要

本发明涉及红外探测技术领域，为一种超微型MEMS节流制冷红外探测器，包括MEMS制冷器和封装杜瓦，MEMS制冷器包括制冷器换热通道，封装杜瓦包括外壳和真空密封于外壳内的陶瓷基板，陶瓷基板的一面与制冷换热通道通过低温胶粘接，另一面上固设有冷屏和芯片，制冷器换热通道包括节流元件、冷流体通道和热流体通道，热流体通道的一端为进气口接高压气体源，另一端经过节流元件后与冷流体通道一端接通，冷流体通道的另一端为出气口通过外壳的通道流向大气。芯片级超微型制冷器采用MEMS技术制备微流通道代替机械缠绕的毛细管，具有工艺新颖、制冷器本身低热质量、尺寸小、振动低和无磁性等特点。