一种陶瓷电容式压力传感器压力检测系统及其测试方法

摘要

本发明涉及压力传感器检测技术领域，具体是一种陶瓷电容式压力传感器压力检测系统及其测试方法。检测系统包括高压气泵、可调压容舱、膜片夹具及后端电路检测系统。该系统的可调压容舱设有一组进气通道、四组测试通道及气压显示端口，进气通道与测试通道均设有阀门装置；膜片夹具设有放置陶瓷膜片及调理电路板的凹腔，凹腔内设置O形密封圈，密封夹具一端设置带导线通孔的尼龙封盖，另一端设有螺纹连接头；后端电路检测系统包括信号采集装置及软件控制窗口。本发明具有快速封装、操作简便、多线程测量、可横向比对标定的优点，可用于电容式压力传感器的快速封装及测试。