MEMS扫描镜及其驱动方法、激光投影仪

摘要

本发明公开一种MEMS扫描镜及其驱动方法、激光投影仪。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜，用于驱动反射镜关于反射镜第一轴以第一频率偏转的第一压电致动器，用于驱动反射镜关于反射镜第二轴以第二频率偏转的第二压电致动器，第一轴垂直于第二轴，以及驱动电路，第一频率远小于第二频率，第一压电致动器与第二压电致动器共用电极和对应的布线，驱动电路生成叠加有第一驱动频率的第一信号和第二驱动频率的第二信号的第一驱动信号及叠加有第一驱动频率的第三信号和第二驱动频率的第四信号的第二驱动信号，第一驱动频率远小于第二驱动频率，并施加到第一压电致动器和第二压电致动器。该实施方式可减少MEMS扫描镜布设的电极和线的数量。