反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备及其检测方法

摘要

本发明公开了反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备及其检测方法，解决了现有的反应堆蒸汽发生器钠中氢检测设备通讯距离远，信号交互慢且电缆数量多，干扰大，检测响应慢，结构庞杂的技术问题。本发明包括测量部件，所述测量部件包括控制系统，所述控制系统包括以太网通讯模块，所述以太网通讯模块与上位机通信连接。本发明具有一体化结构设计、快速实现数据交互和控制，检测响应快等优点。

说明书

技术领域

本发明涉及核反应堆设备技术领域，具体涉及反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备及其检测方法。

背景技术

在新型的第四代钠冷反应堆中，由于液态金属钠导热性好且不易慢化中子，有益于维持链式反应而作为快中子反应堆中理想的冷却剂。

在钠冷反应堆系统中，蒸汽发生器的一侧为钠，另一侧为水。两侧之间如果出现极细微的泄露，都会因钠水反应而在钠液中产生微量的氢。因此，可以通过测量液态金属钠中氢浓度的变化，来探测水或者水蒸汽是否在向蒸汽发生器钠侧泄露及泄露率的大小。由此原理制成的氢含量测量设备，是钠冷快堆中蒸汽发生器事故保护系统的重要组成设备，用于检测液态金属钠中氢浓度的变化，以确保反应堆安全。

现有技术中，氢含量测量设备的数据处理和控制系统安置在控制室内，通过数十根电源电缆和通讯电缆对百米之外的大量其他系统及子设备进行信号采集和控制。这种系统结构方式存在诸多弊端：

(1)信号及控制的传输系统庞大，不便于转运和替换；

(2)电缆数量多，成本高昂、干扰较大且不易消除；

(3)通讯距离远，信号交互慢、响应时间长；

(4)结构复杂，不易检修。

因此，有必要对现有的氢含量检测设备进行系统结构的全面改进。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：现有的钠冷反应堆蒸汽发生器钠中氢检测设备将是将数据处理和控制系统安置在控制室内，通过数十根电源电缆和通讯电缆对百米外的大量子设备进行信号采集和控制，通讯距离远，信号交互慢且电缆数量多，干扰大，检测响应慢，结构庞杂。

本发明通过下述技术方案实现：

反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备，包括测量部件，所述测量部件包括控制系统，所述控制系统包括以太网通讯模块，所述以太网通讯模块与上位机通信连接。

本发明通过采用在控制系统中设置专门的以太网通讯模块，并与上位机连接，可进行远程数据交互和远程控制，减少通讯电缆的使用，实现快速通讯和信号交互，减少信号干扰。

本发明优选的反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备，所述测量部件还包括真空系统，所述测量部件还包括真空系统，所述真空系统包括高真空腔室、前级泵、分子泵、离子泵、气源泵、温度传感器、真空规、气动阀门K1、气动阀门K2和第一加热装置，所述真空系统还包括质谱仪或标准漏孔，所述前级泵、分子泵、离子泵、气动阀门、质谱仪和标准漏孔均与高真空腔室连接。

其中，所述高真空腔室以法兰安装的方式连接标准漏孔，用于标定一体化钠中氢含量测量柜的精度，在不使用的时候，安装一件盲板做密封。

真空规：实时测量真空度，型号PKR361，测量范围10

温度传感器：测量和监控高真空系统各主要位置的温度，温度越高，氢分子的扩散和渗透越快，温度传感器测量范围0-800℃，精度等级1级。

前级泵：又称膜片泵，预抽真空，将高真空腔室的真空度降低到数百帕，是分子泵启动的基础。型号MVP-030-3DC，电源24V，功率110W。

分子泵：在前级泵运行的基础上进一步的提高真空度，将真空度降低到10

离子泵：在前级泵和分子泵运行的基础上，进一步提高真空度，将真空度降低到10

高真空腔室：带多个法兰接口，用于连接分子泵组、离子泵、真空规和质谱仪，其中质谱仪为选装件。所述高真空腔室的腔体具备烘烤功能，烘烤温度不低于200℃。

阀门：高真空气动阀门，控制真空管路的开启和闭合，漏率优于10

质谱仪：分析高真空腔室中各种气体的浓度，量程1～100amu，检测极限10

气源泵：为气动阀门提供气源。电源24V，功率100W。

本发明优选的反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备，所述控制系统包括柜体、配电单元、中央处理器、触摸显示屏、固态继电器、周波控制器和变频器，

所述中央处理器包括所述以太网通讯模块、数字输入模块、数字输出模块、热电偶模块、RS485通讯模块、模拟量输入模块和模拟量输出模块、温度控制系统和报警模块。

本发明优选的反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备，所述测量部件连接取样部件，所述取样部件包括依次连接的截止阀、电磁泵、镍管传感器和真空腔室，所述镍管传感器和真空腔室设置有第二加热装置，所述电磁泵、镍管传感器和真空腔室均设置有温度传感器。

所述第二加热装置包括第一加热器和第二加热器，所述第一加热器用于加热镍管传感器，所述第二加热器用于加热真空腔室。

本发明优选的反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备，所述以太网通讯模块还连接触摸显示屏和质谱仪。

本发明优选的反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备，所述测量部件均安装在柜体中形成测量柜，所述测量柜通过电缆快速插头连接取样部件的各子单元，各个快速插头的尺寸不同，仅能一对一的连接，这样能实现取样部件与测量部件的快速连接。

一种反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测方法，包括如下步骤：

步骤1：设备通电自检后开机，选择自动启动，一体化钠中氢测量柜开始自动检测；

步骤2：启动气源泵，气源泵工作1分钟后达到预定气压0.5Mpa；

步骤3：电磁阀控制气动阀门K1和气动阀门K2开启；

步骤4：气动阀门开启后，前级泵开始工作，将高真空腔室内的真空度降低到500Pa以下，真空度由真空规测量，若前级泵启动10分钟，真空度未小于500Pa，系统报警：“真空腔室密封故障”；

步骤5：高真空腔室气压降低到500Pa以下且持续3分钟后，启动分子泵，进一步提高真空度，真空度降低到5×10

步骤6：高真空腔室真空度小于5×10

步骤7：镍管传感器温度到达预定温度400℃后，烘烤24小时，真空规测量的真空度小于5×10

首次使用或长期停用后重新启用，该真空度不能立刻达到，可使用小木槌轻敲管道或增加管道烘烤时间，减少管道吸附的气体分子；

步骤8：真空度小于5×10

步骤9：离子泵显示真空度小于5×10

步骤10：持续抽高真空，离子泵电流低于10uA，启动电磁泵，开始检测泄漏率，如有泄漏，系统报警：泄漏。

控制系统包括报警单元，报警单元的报警信号包括氢浓度超标报警信号、钠泄露报警信号、真空腔室密封故障信号、离子泵故障信号、分子泵故障报警信号、镍管温度超限值报警信号，变频器故障信号、加热装置报警信号和自检报警信号灯。

本发明具有如下的优点和有益效果：

1、本发明通过采用在控制系统中设置专门的以太网通讯模块，并与上位机连接，可进行远程数据交互和远程控制，减少通讯电缆的使用，实现快速通讯和信号交互，减少信号干扰。

2、本发明的测量柜作为独立运行的设备，通过电缆快速插头连接取样部件的各子单元，各个快速插头的尺寸不同，仅能一对一的连接，这样能实现取样部件与测量部件的快速连接进行氢浓度检测。

3、本发明柜内提供并维持优于10

4、本发明通过一体化结构设计，并通过控制系统基于以太网的快速数据交互和控制，大大增加了数据吞吐量和网络性能，从检测到中控室接收报警信号，响应时间小于40秒。

5、本发明测量柜外侧安装触摸显示屏，实时显示设备状态，流程控制，专用程序，中文界面，操作简单，内侧分左右两个部分，分别安装检测控制系统和高真空系统，使用标准漏孔标定检测精度时，通过触摸屏可以直接快速录入。

6、本发明采用温控仪和周波控制器共用的形式控制温度，控温精度优于±5℃。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：

图1为本发明的整体结构示意图。

图2为本发明取样部件的结构示意图。

图3为本发明测量部件的结构示意图。

图4为本发明高真空系统的结构示意图。

图5为本发明测量部件与其他部件连接示意图。

图6为本发明测量部件的控制流程图。

图7为本发明前级泵的启停逻辑图。

图8为本发明分子泵启停逻辑图。

图9为本发明离子泵启停逻辑图。

图10为本发明质谱仪启停逻辑图。

图11为本发明电磁泵启停逻辑图。

图12为本发明高真空腔室加热启停逻辑图。

附图中零部件名称如下：

1-取样部件，100-截止阀K1，101-电磁泵，102-镍管传感器，103-第一加热器，104-第二加热器，105-真空腔室，2-测量部件，200-真空接管，201-气动阀门，202-高真空腔室，203-质谱仪，204-前级泵，205-离子泵，206-分子泵，207-离子泵电源，208-标准漏孔，209-真空规，210-第二温度传感器，211-气源泵，212-第一加热装置，3-上位机，4-待检测管道。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。

实施例1

如图1至图5所示，反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测设备，包括取样部件1和测量部件2，所述测量部件2连接取样部件1，所述取样部件1包括依次连接的截止阀、电磁泵101、镍管传感器102和真空腔室105，所述镍管传感器102和真空腔室105设置有第二加热装置，所述电磁泵101、镍管传感器102和真空腔室105均设置有温度传感器。

所述第二加热装置包括第一加热器103和第二加热器104，所述第一加热器103用于加热镍管传感器102，所述第二加热器104用于加热真空腔室105。

取样部件1直接焊接在蒸汽发生器目标点位置，一般是待检测管道4，电磁泵101驱动该位置的液态金属钠流动，使液态金属钠流过镍管传感器102，液态金属钠在镍管传感器102中流动时，溶解的氢经镍管渗透进入真空腔室105，完成取样。

电磁泵101：由定子、线圈、温度传感器、测温套管等部件组成。利用磁场和导电流体的相互作用(电磁感应定律)使液态金属钠在电磁力的作用下产生压力梯度，形成流动。温度传感器(含测温套管)测量电磁泵101的线圈温度，监控电磁泵101的安全状态。电磁泵101额定电压380V，功率约400W。

截止阀：用于启用或关闭取样系统与管道的连接，阀门为气动结构。

温度传感器：测量和监控取样部件1各主要位置的温度，温度越高，氢分子的扩散和渗透越快。另外，温度也是检测设备运行工况的重要指标之一，温度传感器测量范围0-800℃，精度等级1级。

第二加热装置：由加热器本体、加热棒等构成，加热装置具有过流、过热、负载断线保护等功能，用于加热镍管传感器102和真空腔室105，保证透氢性能，加热装置额定电压220V，最大功率1800W。

镍管传感器102：由内外套管、镍管、测温套管等部件组成，用于提取钠中的氢并测量钠温，同时作为压力边界承担介质包容功能。

真空腔室105：连接测量部件2的高真空系统，在高浓度差的情况下使氢分子透过镍管进入测量部件2，完成取样。

所述测量部件2包括真空系统和控制系统，所述真空系统包括高真空腔室202、前级泵204、分子泵206、离子泵205、气源泵211、温度传感器、真空规209、高真空阀门和第一加热装置212，所述真空系统还包括质谱仪203或标准漏孔208，所述高真空腔室202分别与前级泵204、分子泵206、离子泵205和气源泵211连接，所述高真空腔室202通过气动阀门201K1和真空接管200与取样部件1的真空腔室105连接，离子泵205由离子泵电源207供电。

其中，所述高真空腔室202以法兰安装的方式连接标准漏孔208，用于标定一体化钠中氢含量测量柜的精度，在不使用的时候，安装一件盲板做密封。

真空规209：实时测量真空度，型号PKR361，测量范围10

温度传感器：测量和监控高真空系统各主要位置的温度，温度越高，氢分子的扩散和渗透越快，温度传感器测量范围0-800℃，精度等级1级。

前级泵204：又称膜片泵，预抽真空，将高真空腔室202的真空度降低到数百帕，是分子泵206启动的基础。型号MVP-030-3DC，电源24V，功率110W。

分子泵206：在前级泵204运行的基础上进一步的提高真空度，将真空度降低到10

离子泵205：在前级泵204和分子泵206运行的基础上，进一步提高真空度，将真空度降低到10

高真空腔室202：带多个法兰接口，用于连接分子泵206组、离子泵205、真空规209和质谱仪203，其中质谱仪203为选装件。所述高真空腔室202的腔体具备烘烤功能，烘烤温度不低于200℃。

阀门：高真空气动阀门201，控制真空管路的开启和闭合，漏率优于10

质谱仪203：分析高真空腔室202中各种气体的浓度，量程1～100amu，检测极限10

气源泵211：为气动阀门201提供气源，所述气动阀门201包括气动阀门201K1和气动阀门201K2，电源24V，功率100W，所述气动阀门201K1连接在取样系统与高真空腔室202之间，所述气动阀门201k2连接在分子泵206与高真空腔室202之间。

所述控制系统包括柜体、配电单元、中央处理器、触摸显示屏、固态继电器、周波控制器和变频器，所述中央处理器包括所述以太网通讯模块、数字输入模块、数字输出模块、热电偶模块、RS485通讯模块、模拟量输入模块和模拟量输出模块、温度控制系统和报警模块。

所述以太网通讯模块与上位机3、触摸显示屏以及质谱仪203通信连接。

本发明通过采用在控制系统中设置专门的以太网通讯模块，并与上位机3连接，可进行远程数据交互和远程控制，减少通讯电缆的使用，实现快速通讯和信号交互，减少信号干扰。

所述测量部件2均安装在柜体中形成测量柜，所述测量柜通过电缆快速插头连接取样部件1的各子单元，各个快速插头的尺寸不同，仅能一对一的连接，这样能实现取样部件1与测量部件2的快速连接。

电源柜提供AC220V、50Hz电源，功率7KW，电源进入配电单元后分别为触摸显示屏、中央处理器、变频器、周波控制器、固态继电器、直流电源供电。配电单元中包含带漏电保护的断路器，断路器开合状态以数字量输入形式反馈回中央处理器。

中央处理器中的以太网通讯模块连接上位机3、触摸显示屏和质谱仪203，提供数据交互和远程控制。

中央处理器中的数字输入模块采集了各数字量信号(24VDC)：紧急停止按钮，变频器工作状态监控、断路器开合检测、阀门开启状态和加热装置报警反馈等信号。

中央处理器的数字输出模块控制各数字量输出(24VDC)：声光报警灯、变频器启停、电磁阀开闭、膜片泵电源、分子泵206电源、离子泵电源207、气源泵电源、质谱仪电源和温控仪电源，其中膜片泵电源、分子泵电源、离子泵电源207、气源泵电源、质谱仪电源和温控仪电源均由固态继电器来实现启闭。

中央处理器的热电偶模块采集了各热电偶的温度信号。

中央处理器的RS485信号连接分子泵206和离子泵205的通讯端口，完成通讯。

中央处理器的模拟量输入模块(0-10V)采集真空规209信号，真空规209的压力与输出电压换算关系为：

P＝10

其中：P为压力，单位Pa；U为电压值，单位V；

电压在接近0V或接近10V时易产生较大误差，因此，测量柜在真空度低于10-5Pa时，使用离子泵205测量其真空度。

中央处理器的模拟量输出模块(0-10V)接入温控系统，调节目标温度。

目标温度换算关系为：

T＝100×U

其中：T为温度，单位℃，U为电压，单位V。

变频器输入电压220V、50Hz，输出380V，0～50Hz可调，为电磁泵101供电，变频器向中央处理器反馈过电流过电压等报警信号。

电磁阀：气动控制取样系统的截止阀和高真空系统的阀门，截止阀为取样部件的气动阀，高真空系统的阀门包括气动阀门K1和气动阀门K2。

温控装置分别接入取样系统和高真空系统的加热器上，最大功率1800W，控温精度优于±5℃。备用1路温控装置。

固态继电器：控制膜片泵、分子泵206、离子泵205、气源泵211和质谱仪203等元器件的电源通断，响应速度小于100ms。

标准漏孔208标定离子泵205电流，用离子泵205电流折算氢含量。

当系统稳定后，输入漏孔标称值Q漏孔标称值；测试本底信号值I本底；获得稳定的本底信号值I本底；启动清零，获得相对本地值I相对本底,通过校准，获得漏孔校准值I漏孔校准；

计算获得校准因子

F校准因子：F校准因子＝(I漏孔校准-I本底-I相对本底)/Q漏孔标称值

在测试界面，输入测试点后，测试样品，获得I测试点，从而计算测试点的漏率：

Q测试点＝(I测试点-I本底-I相对本底)/F校准因子

最后的漏率计算总公式为：

(I漏孔校准-I本底-I相对本底)/Q漏孔标称值＝(I测试点-I本底-I相对本底)/Q测试点

实施例2

如图6所示，一种反应堆蒸汽发生器钠中氢含量的检测方法，包括如下步骤：

步骤1：设备通电自检后开机，选择自动启动，一体化钠中氢测量柜开始自动检测；

步骤2：启动气源泵211，气源泵211工作1分钟后达到预定气压0.5Mpa；

步骤3：电磁阀控制气动阀门201K1和气动阀门201K2开启；

步骤4：气动阀门201开启后，前级泵204开始工作，将真空腔室105内的真空度降低到500Pa以下，真空度由真空规209测量，若前级泵204启动10分钟，真空度仍未小于500Pa，系统报警：“真空腔室105密封故障”；

步骤5：高真空腔室202气压降低到500Pa以下且持续3分钟后，启动分子泵206，进一步提高真空度，真空度降低到5×10

步骤6：高真空腔室202真空度小于5×10

步骤7：镍管传感器102温度到达预定温度400℃后，烘烤2小时，真空规209测量的真空度小于5×10

首次使用或长期停用后重新启用，该真空度不能立刻达到，可使用小木槌轻敲管道，减少管道吸附的气体分子；

步骤8：真空度小于5×10

步骤9：离子泵205显示真空度小于5×10

步骤10：持续抽高真空，离子泵205电流低于10uA，启动电磁泵101，开始检测泄漏率，如有泄漏，系统报警：泄漏。

实施例3

本实施例与实施例2的区别在于，控制系统包括报警单元，报警单元的报警信号包括氢浓度超标报警信号、钠泄露报警信号、真空腔室105密封故障信号、离子泵205故障信号、分子泵206故障报警信号、镍管温度超限值报警信号，变频器故障信号、加热装置报警信号和自检报警信号灯。

故障发生后，将逐条记录在报警列表内。

报警信号发生时，声光报警器工作(蜂鸣器鸣叫且灯光闪烁)，上位机3和触摸屏弹出故障提示框。

(1)氢浓度超标报警信号：测量柜正常运行过程中，真空度X<5X10

(2)钠泄漏报警信号：测量柜正常运行过程中，真空度X:<5X10

(3)高真空腔室202密封故障：在测量柜启动过程中，膜片泵运行10分钟后真空度任然大于500Pa，或分子泵206运行30分钟后真空度任然大于5x10

(4)离子泵205故障：离子泵205发生过流、过压、抽速不足或启动压力过大等故障时，测量柜蜂鸣器蜂鸣，且显示“离子泵205故障”。

(5)分子泵206故障：分子泵206发生热过载、泄漏、压力过高或压降过高等故障时，测量柜蜂鸣器蜂鸣，且显示“分子泵206故障”。

(6)镍管温度超限报警：安装在镍管上的温度传感器检测到温度大于设定值(480℃)，测量柜蜂鸣器蜂鸣且显示“镍管温度超限”。此时镍管加热将禁用。

(7)变频器故障：变频器发生过电压、过电流或外部线圈缺陷时，测量柜蜂鸣器蜂鸣，且显示“变频器故障”。

(8)加热装置故障：加热系统发生负载电流突然增大(加热器短路)或长时间加热，测温热点无变化(加热器断路)状况，测量柜蜂鸣器蜂鸣，且显示“加热装置故障”。

(9)通讯故障：开机自检状态时，若触摸显示屏或RS485等讯号未正常接入系统，测量柜蜂鸣器断续蜂鸣，提示“通讯故障”。

(10)电磁泵101故障：电磁泵101的线圈温度突然增大，测量柜蜂鸣器蜂鸣，且显示“电磁泵101故障”。

(11)急停按钮按下：急停按钮按下时，测量柜显示“急停”，中央处理器停止取样系统和真空系统。

(12)断路器未闭合：各元器件对应的断路器跳闸或未闭合时，测量柜显示断路器未闭合，如“气源泵211断路器未闭合”。

实施例4

如图7至图12所示，本实施例与实施例2的区别在于，本实施例通过各种设备的逻辑启停，实现检测的顺利快速进行，其中包括前级泵204、分子泵206、离子泵205、电磁泵101、质谱仪203以及高真空腔室202加热的启停逻辑。

1、前级泵204的启停逻辑

(1)所述前级泵204的启动条件包括五种中的任意一种，

第一种启动条件为：设备无故障、运行模式“手动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3前级泵204“启动”信号开启；

第二种启动条件为：设备无故障、运行模式“手动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏前级泵204“启动”信号开启；

第三种启动条件为：设备无故障、操作模式“远程”开启、上位机3前级泵204“启动”信号开启且运行模式“自动”开启；

第四种启动条件为：设备无故障、运行模式“自动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏前级泵204“启动”信号开启，

(2)所述前级泵204的停止条件包括四种中的任意一种：

第一种停止条件为：设备故障；

第二种停止条件为：运行模式“手动”、操作模式“远程”启动且上位机3前级泵204“停止”信号开启；

第三种停止条件为：运行模式“手动”、操作模式“本地”开启且触摸屏前级泵204“停止”信号开启；

第四种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“远程”启动且且上位机3前级泵204“停止”信号开启；

第五种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“本地”开启且且触摸屏前级泵204“停止”信号开启。

2、分子泵206的启停逻辑

(1)分子泵206的启动条件包括四种中的任意一种，

第一种启动条件为：设备无故障、真空度小于5×10

第二种启动条件为：设备无故障、真空度小于5×10

第三种启动条件为：设备无故障、真空度小于5×10

第四种启动条件为：设备无故障、真空度小于5×10

(2)所述分子泵206的停止条件包括六种中的任意一种：

第一种停止条件为：设备故障；

第二种停止条件为：真空度大于5×10

第三种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3分子泵206“停止”信号开启；

第四种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏分子泵206“停止”信号开启；

第五种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3分子泵206“停止”信号开启；

第六种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏分子泵206“停止”信号开启。

3、离子泵205的启停逻辑

(1)离子泵205的启动条件包括四种中的任意一种，

第一种启动条件为：设备无故障、真空压力小于5×10

第二种启动条件为：设备无故障、真空压力小于5×10

第三种启动条件为：设备无故障、真空压力小于5×10

第四种启动条件为：设备无故障、真空压力小于5×10

(2)所述离子泵205的停止条件包括六种中的任意一种：

第一种停止条件为：设备故障；

第二种停止条件为：真空压力大于5×10

第三种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3离子泵205“停止”信号开启；

第四种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏离子泵205“停止”信号开启；

第五种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3离子泵205“停止”信号开启；

第六种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏离子泵205“停止”信号开启。

4、质谱仪203启停逻辑

(1)质谱仪203的启动条件包括四种中的任意一种，

第一种启动条件为：设备无故障、真空压力小于5×10

第二种启动条件为：设备无故障、真空压力小于5×10

第三种启动条件为：设备无故障、真空压力小于5×10

第四种启动条件为：设备无故障、真空压力小于5×10

(2)所述质谱仪203的停止条件包括六种中的任意一种：

第一种停止条件为：设备故障；

第二种停止条件为：真空压力大于5×10

第三种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3质谱仪203“停止”信号开启；

第四种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏质谱仪203“停止”信号开启；

第五种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3质谱仪203“停止”信号开启；

第六种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏质谱仪203“停止”信号开启。

5、电磁泵101的启停逻辑

(1)电磁泵101的启动条件包括四种中的任意一种，

第一种启动条件为：设备无故障、钠温度小于470℃、线圈温度小于200℃、设定电磁泵101运行频率、运行模式“手动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3电磁泵101“启动”信号开启。

第二种启动条件为：设备无故障、钠温度小于470℃、线圈温度小于200℃、设定电磁泵101运行频率、运行模式“手动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏电磁泵101“启动”信号开启。

第三种启动条件为：设备无故障、钠温度小于470℃、线圈温度小于200℃、设定电磁泵101运行频率、运行模式“自动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3电磁泵101“启动”信号开启；

第四种启动条件为：设备无故障、钠温度小于470℃、线圈温度小于200℃、设定电磁泵101运行频率、运行模式“自动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏电磁泵101“启动”信号开启；

(2)所述电磁泵101的停止条件包括七种中的任意一种：

第一种停止条件为：设备故障；

第二种停止条件为：钠温度大于470℃；

第三种停止条件为：线圈温度大于200℃；

第四种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3电磁泵101“停止”信号开启；

第五种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏电磁泵101“停止”信号开启；

第六种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3电磁泵101“停止”信号开启；

第七种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏电磁泵101“停止”信号开启。

6、高真空腔室202加热的启停逻辑

(1)高真空腔室202加热的启动条件包括四种中的任意一种，

第一种启动条件为：设备无故障、真空腔和管道温度小于200℃、设定加热温度、运行模式“手动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3真空腔和管道加热“启动”信号开启；

第二种启动条件为：设备无故障、真空腔和管道温度小于200℃、设定加热温度、运行模式“手动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏真空腔和管道加热“启动”信号开启；

第三种启动条件为：设备无故障、真空腔和管道温度小于200℃、设定加热温度、运行模式“自动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3真空腔和管道加热“启动”信号开启；

第四种启动条件为：设备无故障、真空腔和管道温度小于200℃、设定加热温度、运行模式“自动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏真空腔和管道加热“启动”信号开启；

(2)高真空腔室202加热的停止条件包括六种中的任意一种，

第一种停止条件为：设备故障；

第二种停止条件为：真空腔、管道温度大于200℃；

第三种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3真空腔和管道加热“停止”信号开启；

第四种停止条件为：运行模式“手动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏真空腔和管道加热“停止”信号开启；

第五种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“远程”开启且上位机3真空腔、管道加热“停止”信号开启；

第六种停止条件为：运行模式“自动”开启、操作模式“本地”开启且触摸屏真空腔和管道加热“停止”信号开启。

以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。