一种用于X射线与软X射线波段的滤片及其制备方法

摘要

本发明提供了一种用于X射线与软X射线能段的滤片及其制备方法，属于光学元件技术领域。本发明中含有Sc层的滤片透射率在K吸收边0.276nm(E＝4500eV)和L吸收边2.48nm(E＝500eV)前后有非常明显的对比。由于B的吸收边在190eV，本发明提供的滤片在0.276nm～0.31nm(4000～4500eV)和2.48nm～6.53nm(190～500eV)范围内可以有效地对高次谐波进行抑制。本发明提供的滤片的制备方法，本发明先刻蚀硅片再镀膜，得到的滤片的品质高，无砂眼现象。实施例的数据表明，本发明制得的Sc/B4C滤片或自支撑Sc/B4C滤片(含有聚酰亚胺膜)，均观察不到砂眼。