公开/公告号CN112787209A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院合肥物质科学研究院;
申请/专利号CN202011617779.3
申请日2020-12-30
分类号H01S3/097(20060101);
代理机构34118 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王挺
地址 230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
入库时间 2023-06-19 10:55:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-22
授权
发明专利权授予
机译: 使用高频谐振来激发和激发电离或激发电离气体或等离子体的装置,包括用于在电容器中产生触发或激发电压的谐振电路
机译: 一种用于制造半导体结构的方法,该方法具有形成用于产生特征性光学等离子体发射的信号层和集成电路芯片
机译: 一种电路装置,用于执行从等离子体包围物产生,加速和/或动态的方法