公开/公告号CN112768514A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 泉芯集成电路制造(济南)有限公司;
申请/专利号CN202110070630.6
发明设计人 詹智颖;
申请日2021-01-19
分类号H01L29/41(20060101);H01L29/423(20060101);H01L29/78(20060101);H01L21/336(20060101);
代理机构11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人严诚
地址 250000 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
入库时间 2023-06-19 10:54:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-25
授权
发明专利权授予
机译: 3 3水溶液中3D环绕栅结构的碳纳米管晶体管的制备方法及3D环绕栅结构的碳纳米管晶体管的制备方法
机译: 环绕式全栅晶体管的长通道优化
机译: 垂直场效应晶体管的环绕式接触