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公开/公告号CN112723298A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-30
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;
申请/专利号CN202011607823.2
发明设计人 周斌;邢博文;侯波;张嵘;魏琦;陈志勇;
申请日2020-12-30
分类号B81B3/00(20060101);B81B5/00(20060101);B81C1/00(20060101);
代理机构11245 北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人赵静
地址 100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
入库时间 2023-06-19 10:49:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-02-17
授权
发明专利权授予
机译: 一种通过等离子体刻蚀在多层体中生产具有不同表面特性的微结构的方法
机译: 用于对微结构纤维的聚合物预成型件进行抛光的主轴,一种用于对微结构纤维以及聚合物微结构纤维的聚合物预成型件进行抛光的方法,该方法是使用经抛光的预成型坯制成的
机译: 一种用于生产合适的微结构部件,微结构部件层以及微结构部件的接合方法
机译:基于深反应离子刻蚀的硅高级刻蚀,用于硅高纵横比微结构和三维微纳结构
机译:通过金属辅助化学刻蚀自组装的纳米结构金,可用于高深宽比的硅微结构
机译:自对准掩模更新,用于各向异性刻蚀的圆形微结构和纳米结构
机译:一种用于补偿多MEMS传感器轴不对中的误差补偿技术
机译:具有沸腾增强微结构的薄型两相散热器,用于电子系统的热管理。
机译:作者更正:μMAPPS:一种用于二次谐波分析的新颖相量方法用于胶原蛋白微结构的体外-体内研究
机译:一种新型夜冷却散热器,用于主动冷却系统的辅助散热器
机译:一种用于梭式散热器系统测试的红外模拟器的设计和运行