一种评判栅极上切断层位置对器件影响的方法

摘要

本发明提供了一种评判栅极上切断层位置对器件影响的方法，包括：获取版图信息，并确定目标图形所在层；将切断层图形分为:与栅极重叠的部分即第一重叠区、与两个第一重叠区接触的部分即切断层连接部，仅与一个第一重叠区接触的部分即切断层端部；将切断层图形上最靠近相邻有源区的侧边沿栅极延伸方向平移至触及相邻有源区，平移扫过的区域上与栅极重叠的部分是第二重叠区；通过判断所述目标器件接触的第一重叠区是否与切断层端部相接触确定目标器件与切断层的相对位置；根据第二重叠区域的高度、切断层图形的尺寸评估对所述目标器件性能的影响。过程简洁，效率高，评判结果可靠，有利于指导器件的工艺设计与生产制造工艺，提高产品的成品率。