应用于真空腔室中的电连接件、静电卡盘和半导体设备

摘要

本发明公开了应用于真空腔室中的电连接件、静电卡盘和半导体设备，其中，真空腔室中设有相对的第一接线柱和第二接线柱，电连接件设置于第一接线柱和第二接线柱之间，该电连接件包括：第一导电部，与第一接线柱相对设置，能够接触或远离第一接线柱；第二导电部，与第二接线柱接触连接；位于第一导电部和第二导电部之间的可伸缩导电结构，可伸缩导电结构、第一导电部和第二导电部形成密封空腔；可伸缩导电结构，用于在大气环境下处于压缩状态，且第一导电部远离第一接线柱；在真空环境下能够伸长，且第一导电部与第一接线柱接触。本发明的电连接件，在大气环境下，电连接件处于压缩状态，电路断开，在真空环境下电连接件能够伸长，实现电路导通。