一种用于晶圆超精密加工的超声振动辅助磨削装置

摘要

本发明属于精密加工领域，并具体公开了一种用于晶圆超精密加工的超声振动辅助磨削装置，其包括固定单元、磨削单元、振动单元及带动它们旋转的主轴电机，固定单元安装在主轴电机输出轴上；磨削单元布置在固定单元远离主轴电机的一端，其包括超声磨削砂轮，超声磨削砂轮安装在振动传递盘上，并由砂轮夹具夹紧；振动单元包括压电驱动模块和非接触式电能传输模块，非接触式电能传输模块安装在固定单元靠近主轴电机的一端内，并与压电驱动模块相连；压电驱动模块安装在振动传递盘内，用于将交流电信号转化为振动信号，并将振动传递给振动传递盘，使超声磨削砂轮在旋转的同时产生沿径向的高频振动。本发明可实现高效率、高精度、高质量的晶圆磨削。