单激励二维超声振动辅助超精密金刚石砂轮磨削装置

摘要

本发明公开了一种单激励二维超声振动辅助超精密金刚石砂轮磨削装置，包括工作台，工作台上设有主轴箱，主轴箱通过主轴与金刚石砂轮连接，实现金刚石砂轮微米级的进给运动，工作台上设有单激励二维超声振动系统，使工件产生具有椭圆运动轨迹的超声振动，这样整个磨削装置会在被加工材料表面形成螺旋式的独特加工轨迹。本发明具有调节方便、能量集中、瞬间作用、快速切削、细化加工表面等特性，能有效地改变传统加工的切削机制，进一步提高了砂轮的耐用度，材料去除率及表面质量。