一种抛光液供给性能核准装置和化学机械抛光系统

摘要

本发明公开了一种抛光液供给性能核准装置和化学机械抛光系统，所述抛光液供给性能核准装置包括固定座、水平板和定位件，所述固定座可拆卸地设置于抛光盘的外周壁，所述水平板连接于所述固定座的顶部并朝向抛光盘的中心设置，所述定位件设置于固定座的侧部并位于水平板的下部；所述定位件的内侧壁为圆弧结构，所述圆弧结构的尺寸与抛光垫的外径相匹配；所述水平板设置于抛光垫与抛光液供给臂之间，抛光液经由所述抛光液供给臂的端部滴落至所述水平板的顶面，水平板的顶面设置有刻度线以量测抛光液的滴落位置。