一种CIGS共蒸法的蒸发源加热结构

摘要

本发明涉及一种CIGS共蒸法的蒸发源加热结构，解决CIGS共蒸法的蒸发源蒸发温度高，蒸发源的加热温控难度大，蒸发源的蒸汽温度可能存在波动和偏差的问题。本装置包括蒸发源容器，其特征在于：蒸发源容器的上表面嵌设有石墨导热板，石墨导热板中部嵌设有石墨加热器，石墨加热器曲折环绕构成蒸汽喷口，所述石墨加热器两端分别连接电源正负极，所述石墨加热器的表面具有绝缘镀层。本发明利用石墨加热器曲折环绕围出蒸汽喷口，加热器本身即是蒸汽喷口，温控精准、实时，减少温度调节的滞后以及波动；本发明的T字石墨加热器结构简单巧妙，加工成本低、效果好、稳定性高。