压电式微机电系统麦克风及其制造方法

摘要

公开了一种压电式微机电系统麦克风及其制造方法，压电式微机电系统麦克风包括：衬底，衬底中设有背腔，背腔贯穿衬底；支撑氧化层，位于衬底上，支撑氧化层围成空腔；背极板和振膜，背极板和振膜的边缘由支撑氧化层支撑，背极板包括多个声孔，多个声孔、空腔和背腔连通；压电结构，包括多个一维压电纳米结构，一维压电纳米结构的第一端与背极板电连接，第二端与振膜电连接；其中，位于空腔的背极板、振膜和一维压电纳米结构形成声压信号采集结构。本发明提高了压电式微机电系统麦克风的可靠性、信噪比和灵敏度。