多自由度压电式微位移机电系统的研究

摘要

该论文通过对多自由度微位移机电系统的驱动单元和微位移机构的探讨,在分析和研究了国内外现有研究成果的基础上,提出了一种新型的三自由度微位移工作台系统.该机构构思新颖、简单、容易实现,而且控制方便.同时对柔性铰链机构采用有限元分析方法,结合正交试验和回归分析进行详细的分析计算,得出了较优的柔性铰链结构参数.

目录

文摘

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致谢

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第一章绪论

§1-1课题来源及研究意义

§1-2 MEMS的发展综述

§1-3本课题的研究思路及关键技术

§1-4本文主要研究内容及安排

第二章微型机电系统及其相关技术

§2-1 MEMS的组成原理

§2-2 MEMS相关技术

§2-3本章小结

第三章平面有限元及线性回归

§3-1引言

§3-2平面有限元分析方法

§3-3 交试验与线性回归

§3-4本章小结

第四章多自由度压电式微位移系统

§4-1微位移系统的结构及工作原理

§4-2压电式多自由度微位移系统的研制

§4-3本章小结

第五章柔性铰链的设计

§5-1引言

§5-2柔性铰链的选择

§5-3柔性铰链运动方程的理论分析

§5-4柔性铰链的有限元分析

§5-5本章小结

第六章三自由度微动工作台设计

§6-1三自由度微动工作台的结构设计

§6-2微动工作台的有限元计算

§6-3本章小结

第七章结束语

参考文献

在学期间发表的论文