一种超精密车削加工在位检测装置及其应用方法

摘要

本发明公开了一种超精密车削加工在位检测装置及其应用方法，本发明的超精密车削加工在位检测装置包括三维精密调整台、五维精密调整台、夹具、小口径干涉仪组件和计算全息图板，所述五维精密调整台、夹具分别安装在三维精密调整台上，所述小口径干涉仪组件安装在夹具上，所述计算全息图板安装在五维精密调整台上；本发明的应用方法为应用于超过小口径干涉仪组件测量口径的待测光学元件的在位检测方法。本发明能够实现波面干涉的在位检测，提高波面干涉检测的精确度，并能够进一步超精密车削加工的效率，尤其适用于大口径光学元件的在位检测。