一种无源空腔型单晶薄膜体声波谐振器结构及制备方法

摘要

本发明公开一种无源空腔型单晶薄膜体声波谐振器结构，其包括支撑衬底、依次设置在支撑衬底上的键合黏附层、外延衬底层和单晶压电层，以及上电极和下电极；键合黏附层和外延衬底层的部分区域缺失，使得支撑衬底和单晶压电层之间形成一空腔；上电极、下电极分别位于单晶压电层远离支撑衬底的上下两侧，且下电极位于空腔内；第一互联金属层覆盖部分单晶压电层，并通过单晶压电层中的贯通孔与下电极连接；第二互联金属层覆盖部分单晶压电层和部分上电极层。本发明采用单晶压电材料作为FBAR的压电薄膜，能够获得更小的损耗、更大的Q值和更高的机电耦合系数，极大地提升FBAR的性能，能够满足5GHz及以上频段的高性能应用需求。