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超导组合薄膜的制备方法，及其产品和应用

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摘要

本发明提供了一种超导组合薄膜的制备方法，通过组合激光能量密度的方式合成参量敏感的超导组合薄膜，还提供了其产品和应用。本发明通过组合激光能量密度的方式，形成对化学组分等参量在空间的极其精细的控制，从而合成敏感材料的超导组合薄膜。

公开/公告号CN112481586A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-12

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院物理研究所;
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申请/专利号CN201910862037.8
发明设计人袁洁;冯中沛;金魁;
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申请日2019-09-12
分类号C23C14/28(20060101);C23C14/54(20060101);C23C14/06(20060101);H01L39/24(20060101);H01L39/12(20060101);
代理机构11521 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘丹妮;姚望舒
地址 100190 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2023-06-19 10:13:22

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-08-09

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/28 专利申请号:2019108620378 申请日:20190912

实质审查的生效

1. 超导组合薄膜的制备方法，及其产品和应用 [P] . 中国专利： CN112481586A . 2021-03-12
2. 3C产品用防水组合物及其制备方法与应用和用防水剂组合物处理过的3C产品 [P] . 中国专利： CN114106689A . 2022-03-01
3. Superconducting niobium-tin thin film prodn. for HF applications - by reactive vapour deposition at controlled growth rate, ensures good surface quality [P] . 德国专利： DE2754748C3 . 1980-06-19

机译：超导铌锡薄膜产品适用于HF应用-通过在受控的生长速率下进行反应性气相沉积，确保良好的表面质量
4. Superconducting niobium-tin thin film prodn. for HF applications - by reactive vapour deposition at controlled growth rate, ensures good surface quality [P] . 德国专利： DE2754748B2 . 1979-10-11

机译：超导铌锡薄膜产品适用于HF应用-通过在受控的生长速率下进行反应性气相沉积，确保良好的表面质量
5. Superconducting niobium-tin thin film prodn. for HF applications - by reactive vapour deposition at controlled growth rate, ensures good surface quality [P] . 德国专利： DE2754748A1 . 1979-06-13

机译：超导铌锡薄膜产品适用于HF应用-通过在受控的生长速率下进行反应性气相沉积，确保良好的表面质量