一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台

摘要

本发明涉及一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台，包括样品台底托、样品升降台；所述样品台底托上设有底托螺纹通孔，样品升降台的外侧设有与底托螺纹通孔相匹配的外螺纹，样品升降台通过外螺纹旋于底托螺纹通孔内，样品台底托与样品升降台螺纹连接；所述样品台底托底部中心位置设有用于与SEM载物台连接的固定支柱，样品台底托上部设有功能支架；通过本发明，对不同形状、不同大小的块状样品均能固定。解决了复数、高度差异明显的小块样品无法同时观察的问题。解决了在综合分析时复数小块样品同时处于SEM的最佳工作距离的问题，在保证设备安全的同时，提高样品选区分析数据的准确度和可靠性。