一种扫描电镜用多功能样品台

摘要

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，具体是一种扫描电镜用多功能样品台，包括主台、副台、弹性垫、圆头紧固螺栓、载样桶、紧固螺杆、磁环Ⅰ、磁环Ⅱ和上顶螺钉，弹性垫粘贴在副台上，主台和副台通过圆头紧固螺栓连接。主台的上表面放置表面样品，主台侧面放置断面样品，弹性垫对不同厚度的断面样品均能起到压紧作用，载样桶放置圆柱样品并通过紧固螺杆固定，载样桶通过磁环与副台连接，上顶螺钉可将载样桶顶出。本实用新型保证了圆柱形样品上表面、断面样品断面、表面样品表面所在水平面垂直于电子束入射的方向，且各种样品均能有效固定，保证了对样品观察的顺利进行，扩大了样品台的使用范围，是扫描电镜用样品台方面的创新。