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公开/公告号CN112461416A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 天津大学;
申请/专利号CN202011134656.4
发明设计人 宋乐;贾逸凡;朱欢;侯宇鹏;房丰洲;
申请日2020-10-21
分类号G01L1/24(20060101);
代理机构12201 天津市北洋有限责任专利代理事务所;
代理人刘子文
地址 300072 天津市南开区卫津路92号
入库时间 2023-06-19 10:10:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-16
授权
发明专利权授予
机译: 反射式卡盘,包括该反射式卡盘的反射照明系统,使用卡盘控制反射式光罩的平整度的方法以及使用卡盘制造半导体器件的方法
机译: 反射式裸片光掩模坯料及其生产方式,反射式裸片光掩模坯的生产方式及其生产方法和
机译: 反射式液晶显示装置及其制造方法,特别是包括一种反射板,该反射板通过从外部向外部传输到液晶层上来反射入射光
机译:通过摩擦诱导振动改进的材料特性触觉触觉传感装置
机译:透明工作状态下行波和反射式半导体光放大器的电光调制带宽分析使用解析方法设计和优化加速
机译:在光用户环路中使用二向色反射式光滤波器的新的故障识别方法
机译:一种基于绝对压力传感器和力传感寄存器的新型触觉传感装置
机译:高灵敏度纳米技术气体传感装置。
机译:基于反射式超小直径无芯光纤结构的高灵敏度折光仪
机译:一种用于其他轴对称势流问题的静态情况下带护罩的盘式滑流收缩的数值计算方法