基于双轴柔性铰链的高频响二维微角摆控制反射镜

摘要

基于双轴柔性铰链的高频响二维微角摆控制反射镜属于光束控制装置；包括反射镜、基于双轴柔性铰链的二维偏转机构、驱动机构、控制系统，反射镜固配在基于双轴柔性铰链的二维偏转机构的刚性平台上，入射光束经反射镜反射后出射，控制系统通过控制两个正负微驱动机构在对称位置分别沿正反方向高速推动刚性平台，使刚性平台上的反射镜发生微角度偏转，实现出射光束的方向控制，控制系统的位移传感器将反射镜的转角信息反馈给计算机系统，实时调整反射镜的微偏转角度，本发明具有二维偏转方向无耦合、无轴向平移、响应速度快的特点。