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基于柔性铰链和磁致伸缩效应的二维微定位机构的研究

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设计了一种新型的基于柔性铰链和磁致伸缩效应的纳米级二维微定位机构,并对该机构进行了实验研究,其重复定位精度在4μm×4μm范围内为±2nm.

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来源
《新技术新工艺》 |2000年第12期|12-13|共2页
作者
王彤宇; 张树仁;
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作者单位

长春光学精密机械学院,130022;

长春光学精密机械学院,130022;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械学（机械设计基础理论）;
关键词
柔性铰链; 磁致伸缩效应; 微定位机构;

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