用于电子轰击CMOS研究中电子图像分辨力的测试装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于电子轰击CMOS研究中电子图像分辨力的测试装置及方法，装置是在带抽真空排气泵的腔体内，从上到下依次安装第一反射镜、第二反射镜、Au阴极、背照CMOS图像传感器组件的靶面部分，腔体外部设置紫外光源、高压电源、CMOS的电路部分及抽真空泵。由光源发出的紫外平行光经第一反射镜、第二反射镜的反射和会聚作用，亮度增强并形成特定的斜入射角，照射在Au阴极表面，照射范围为整个Au阴极的有效区域，Au阴极吸收紫外光产生的光电子，在腔体外部加速高压的驱动下，轰击CMOS的靶面，产生增强的电子图像，未被Au阴极吸收的紫外光透射至CMOS的靶面产生的光学图像与电子图像完全分离，通过对分辨力图案的判读，可以获得电子轰击CMOS的分辨力指标。