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功能性膜的制造方法、干燥装置及功能性膜的制造装置

摘要

一种功能性膜的制造方法,是制造设置于长条状的基板的上表面的功能性膜的制造方法,包括:涂敷工序,在上述基板的上表面涂敷包含上述功能性膜的材料的墨液而形成涂敷膜;以及干燥工序,一边运送上述基板一边使上述涂敷膜干燥,上述干燥工序包括第一工序,所述第一工序将上述基板运送第一距离,其间使上述基板的温度从第一温度升温至第二温度,在上述第一工序中,如果将上述第一距离设为d1(m),将第一温度设为T1(℃),将第二温度设为T2(℃),则满足下式:(T2‑T1)/d1≥10(1a)的关系,且上述基板的瞬间变温速度的最大值为5℃/秒以下。

著录项

  • 公开/公告号CN112313017A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-02-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 住友化学株式会社;

    申请/专利号CN201980042454.6

  • 发明设计人 下河原匡哉;吉冈秀益;

    申请日2019-04-02

  • 分类号B05D3/02(20060101);F26B3/30(20060101);F26B13/10(20060101);F26B23/04(20060101);H01L51/50(20060101);H05B33/10(20060101);B05C9/14(20060101);B41F23/04(20060101);B41M7/00(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人朱丹

  • 地址 日本国东京都

  • 入库时间 2023-06-19 09:44:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-02-03

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B05D 3/02 专利申请号:2019800424546 申请公布日:20210202

    发明专利申请公布后的视为撤回

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