芯片近场扫描系统及方法

摘要

本申请提供一种芯片近场扫描系统和方法。该芯片近场扫描系统用于获取大功耗芯片表面的电磁场近场信息，包括油槽，油槽内通入有流动的绝缘油；样品台，设置在油槽内，用于放置芯片，芯片浸没在所述绝缘油中；探头，与芯片对应设置，探头用于在外部驱动源驱动下伸入绝缘油中并沿预设路径扫描以获取芯片表面的电磁信号数据；以及处理系统，与探头连接，用于根据电磁信号数据得到芯片表面的电磁场近场信息。上述芯片近场扫描系统替换了原来的散热器散热方式，用以扫描得到芯片表面的电磁场近场信息。