一种辉光放电等离子体与微波波导相互作用的测量装置

摘要

本发明提出了一种辉光放电等离子体与微波波导相互作用的测量装置，属于电磁场领域。解决了现有微波与等离子体的相互作用机理复杂且研究不充分的问题。它包括微波发生源、波导组件、石英管、真空电极、真空泵、微波信号接收器和直流电源，所述微波发生源、波导组件和微波信号接收器通过同轴线依次相连，所述波导组件的腔体两侧开设有孔洞，所述石英管通过孔洞插入波导组件的腔体中，所述石英管两端均分别设置有真空电极，所述真空电极上设置有空心阴极，所述石英管与真空泵相连，所述石英管两端的真空电极分别与直流电源的正负极相连。它主要用于等离子体与微波波导相互作用的测量。