法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-26
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H05H1/46 申请公布日:20171020 申请日:20160407
发明专利申请公布后的驳回
2018-05-18
著录事项变更 IPC(主分类):H05H1/46 变更前: 变更后: 申请日:20160407
著录事项变更
2018-05-18
专利申请权的转移 IPC(主分类):H05H1/46 登记生效日:20180427 变更前: 变更后: 申请日:20160407
专利申请权、专利权的转移
2017-11-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/46 申请日:20160407
实质审查的生效
2017-10-20
公开
公开
机译: 设有环形圆形波导的微波导入装置及具有该装置的等离子体处理装置
机译: 设有环形圆形波导的微波导入装置及具有该装置的等离子体处理装置
机译: 微波等离子体处理装置,微波等离子体处理装置的电板以及微波等离子体处理装置的馈电方法