一种基于白光干涉轮廓仪的三维图像拼接方法

摘要

本发明公开了一种基于白光干涉轮廓仪的三维图像拼接方法，包括基于白光干涉轮廓仪的高度质量矩阵计算方法和基于高度质量评价的三维图像拼接方法，与现有技术相比，本发明的方法将高度质量矩阵与三维图像拼接技术充分结合，建立了三维图像拼接过程中特征提取、相关匹配和高度融合三个关键环节的优化算法，降低了图像噪声对于三维拼接的影响，对实现大范围复杂微结构器件的总体尺寸、微特征形位关系、整体质量特征的分析与评定具有重要意义。