一种碳化硅晶片的多线切割系统及切割方法

摘要

本发明公开了一种碳化硅晶片的多线切割系统及切割方法，其中，所述碳化硅晶片的多线切割系统，包括：固定平台；切割平台，与所述固定平台连接，所述切割平台用于将碳化硅晶体切割成碳化硅晶片；张力调控机构，通过钢线网与所述切割平台连接，所述张力调控机构用于调节所述钢线网的张力；切削液喷嘴，连接在所述固定平台上，所述切削液喷嘴用于将切削液喷洒到所述切割平台上；循环监控池，与所述切割平台连接；冷却系统，与所述切割平台和所述循环监控池连接。本发明能够提高晶片质量，有利于统一碳化硅晶片的面型。