一种新型多维多功能超导超晶格大规模集成电路

摘要

本发明提出了一种新型多维多功能超导超晶格大规模集成电路，属于集成电路技术领域。所述大规模集成电路包括衬底、过渡层和超导超晶格大规模集成电路层；所述过渡层设置于所述衬底与所述超导超晶格大规模集成电路层之间。所述衬底采用硅晶圆或化合物半导体晶圆制成。