图案测量装置、倾斜度计算方法和图案测量方法

摘要

本发明提供一种图案测量装置、图案测量装置中的倾斜度计算方法和图案测量方法。实施方式的图案测量装置包括输送部、图案投影部、拍摄部和测量部。输送部输送基片。图案投影部配置于输送部的上方，将投影图案投影到输送部所输送的基片上。拍摄部配置于输送部的上方，拍摄被投影到基片上的投影图案或者形成于基片的实际图案。测量部基于拍摄部所拍摄的图像，测量投影图案或者实际图案的形状。本发明能够高精度地测量图案形状。