一种包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法

摘要

本申请实施例提供一种包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法，属于微纳米级精密测量技术领域。包括：基底，所述基底上设置有指引区域与校准区域；所述指引区域包括：指引图案与至少两个凹坑；所述校准区域包括：与每个凹坑配套的标准样板，所述标准样板安装于所述凹坑上；所述指引图案设置于所述凹坑周围，用于在测量仪器对所述标准样板进行定位时，对所述测量仪器的定位起到指示作用。使用本申请提供的包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法，可以在保证校准精度的同时，提高校准效率。