环球仪器为单一及多种型号晶圆的送料过程提供更多灵活性

摘要

环球仪器为其晶圆送料器系统增加在线晶圆增强选项以满足先进半导体装配的要求。这一在线晶圆增强功能对处理单一300mm规格晶圆尤其有效。环球仪器还为多种规格的晶圆工艺保留了晶圆送料器的离线晶片扩容能力。