一种基于三维纳米多孔金的叉指电极及其制备方法与应用

摘要

本发明涉及电化学领域，具体公开了一种基于三维纳米多孔金的叉指电极及其制备方法与应用。所述制备方法包括在Si/SiO2衬底表面贴附叉指结构镂空的金属掩模版；在所述Si/SiO2衬底上未被金属掩模版遮盖的部分形成粘附层；将叉指电极两端的正负电极引出端遮盖后，进行Au/Ag共溅射；将去除金属掩模版后的结构器件置于腐蚀液中以去除Ag成分，形成所述叉指电极。本发明提供的基于三维纳米多孔金的叉指电极可实现片上集成、具有高电导率及比表面积，应用于超级电容器中可实现高频响应及高电容密度。