公开/公告号CN112117176A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中微半导体设备(上海)股份有限公司;
申请/专利号CN201910538315.4
申请日2019-06-20
分类号H01J37/32(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构31323 上海元好知识产权代理有限公司;
代理人徐雯琼;张静洁
地址 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
入库时间 2023-06-19 09:15:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-07
授权
发明专利权授予
机译: 用于原位清洁的等离子体清洁环,包括等离子体环的等离子体处理设备,包括等离子体清洁环的等离子体处理系统以及使用等离子体清洁环的等离子体处理方法
机译: 等离子体处理装置或等离子体处理系统的性能评估方法,维护方法,性能管理系统和性能确认系统以及等离子体处理设备
机译: 用于压力控制阀清洁的等离子体处理设备和等离子体处理设备,等离子体处理方法和等离子体处理设备