discharges (electric); integrated circuit manufacture; plasma materials processing; plasma probes; sputter etching; abnormal discharge; anomalous discharge foreseeing; anomalous discharge suppression; electric system; foreseeing signal; plasma potential; plasma pro;
机译:光学原位等离子体过程监测技术检测异常等离子体放电
机译:用于监测纳米材料处理等离子体中电子条件的移频探头的研究
机译:一个简单的空心探针,用于监控处理等离子体中的离子束能量
机译:通过观察端口探针原位监测等离子体状态的预见和抑制等离子体加工设备的异常放电
机译:第一部分:微波加热和放电等离子体对环境污染物的破坏。第二部分使用放电等离子体从水和甲烷中产生氢。
机译:吸附剂轨迹:在原位等离子体暴露下定量监测吸附的VOC
机译:光学原位等离子体过程监测技术检测异常等离子体放电
机译:从高空火箭探测器注入电子束引起的等离子体过程。第2部分:光束等离子体放电的研究