基于MIS-HEMT的边界陷阱的能量分布测试方法及系统

摘要

本发明涉及一种MIS‑HEMT的边界陷阱的能量分布测试方法及系统。其中所述方法包括：对所述MIS‑HEMT的栅极施加正向电压应力进行充电，至充电完毕；通过多个放电过程对所述MIS‑HEMT进行充分放电，其中在每一放电过程中均执行以下步骤：降低施加在所述MIS‑HEMT的栅极的正向电压应力；采用spot‑Id sense技术监测所述MIS‑HEMT的放电过程，获取所述MIS‑HEMT的当前电流；根据所述当前电流以及MIS‑HEMT的初始电流，确定电流改变量，并根据所述电流改变量确定所述MIS‑HEMT的当前阈值电压漂移量。