一种电化学表面处理装置和电化学表面处理工艺

摘要

本发明公开了一种电化学表面处理装置和电化学表面处理工艺，该电化学表面处理装置包括绝缘容器、电源和电极，绝缘容器内设有包括表面处理单元的表面处理模块，表面处理单元包括由上到下层叠设置的工作液层和保护液层，工作液层的厚度小于工件上待表面处理区域的高度，且工作液层与保护液层的厚度之后大于或等于工件上待表面处理区域的高度；电源的正极用于与工件连接，电极分别与工作液层和电源的负极连接。本发明电化学表面处理装置可用于对工件的电解抛光、电镀、表面钝化等表面处理，表面处理均匀性，处理后工件表面平整；其表面处理速率可调控，灵活性强；且其中工作液用量少，成本低，结构简单，易于操作，安全可靠。