一种T型悬臂梁微结构及其加工方法和应用

摘要

本发明属于微纳加工技术领域，公开一种T型悬臂梁微结构及其加工方法和应用。该方法是在清洗的硅基表面上采用800～850℃低压化学气相沉积法生长SiN4，然后旋涂光刻胶，将掩模板覆盖在光刻胶上，在紫外光下对SiN4层表面的光刻胶进行曝光显影得到图案；通过光刻在该氮化硅基底上，加工各种图案，出现基底的显影区域，然后在CHF3/O2条件下，等离子体干法刻蚀该显影区域；利用电子束在处理的氮化硅表面上蒸镀贵金属膜，然后将镀金的氮化硅基底浸入刻蚀液中进行各向同性刻蚀，得到上宽下窄的微结构，清洗其表面，制得微型T型悬臂梁结构。该结构具有超疏水超疏油性，可应用在水栖设备、防水防油、微流体技术或生物医疗等领域。