一种基于平面样品转截面样品的特定微小区域标定方法

摘要

本发明的一种基于平面样品转截面样品的特定微小区域标定方法，包括步骤：将平面样品放入透射电子显微镜中观察，并记录平面样品上的特定微小区域的位置信息；根据记录的位置信息对对平面样品进行金属线性沉积，于平面样品上形成线性路径；将带有线性路径的平面样品放入透射电子显微镜中，观察线性路径是否落入特定微小区域内：若是，则以该线性路径作为将平面样品转截面样品时的执行位置；若不是，则再次对所述平面样品进行所述金属线性沉积，直至有所述线性路径落入所述特定微小区域内为止。本发明弥补了扫描式电子显微镜分辨率不高的缺点，可以对特定微小区域进行精准的定位，避免了误认盲切，能够得到符合要求的截面样品。