一种二维超薄自支撑薄膜、其转移方法及其物理性质调控方法

摘要

本发明涉及自支撑氧化物薄膜转移技术领域，特别涉及一种二维超薄自支撑薄膜、其转移方法及其物理性质调控方法。本发明利用环氧树脂转移厚度为0.8‑6nm的二维超薄薄膜，配合牺牲层，将氧化物薄膜转移到柔性目标基底上，可获得原子级平整的单晶氧化物薄膜；通过对柔性目标基底进行拉伸可实现氧化物薄膜的应力调控，获得其他方法难以实现的巨大应力值；同时，在柔性目标基底背面覆盖导电石墨层，可以有效施加电场，配合压电力显微镜、光学测试平台等可实现铁电畴结构、能隙及其他物性的测量与调控。