具有分段式电极的多模干涉光调制器

摘要

本发明提供了一种具有分段式电极的多模干涉光调制器，包括衬底，设于衬底上的缓冲层，设于缓冲层上的多模波导，包覆所述多模波导的包层，以及设于所述包层上的至少一条调制电极；所述调制电极包括位于所述多模波导上部并沿波导轴线方向间隔排布的分段工作电极，以及用于依次连接所述分段工作电极的连接电极；其中，工作电极对应所述多模波导的可调制区域，用于引起多模波导相应区域的折射率变化，所述连接电极对应所述多模波导的非调制区域或位于多模波导之外。本发明的光调制器具有结构紧凑，易于光电子集成，工艺容差大，制作工艺简单的特点，同时分段式电极的引入可将电光作用集中在光强比较集中的区域，提高能量利用率，减少驱动电压。