采用多模输入/输出波导的多模干涉型SOI分束器(英文)

摘要

一个适用于光纤通信系统中的 1× 8多模干涉功率分束器被设计并通过ICP刻蚀方法成功研制 .这种基于SOI材料的功率分束器是采用多模波导作为输入 /输出波导 ;经过光束传播方法模拟 ,该器件显示出了优良的性能 .测试结果表明 ,在 15 5 0nm波长处器件的传波损耗低于 0 80dB ,损耗均匀性为 0 4 5dB ,而且偏振相关损耗低于0 70dB .器件的尺寸只有 2mm× 10mm .